產(chǎn)品介紹

一、拋光液攪拌桶的定義與功能

拋光液攪拌桶是一種用于混合、儲存和均勻分散拋光液（CMP Slurry、金屬拋光液等）的專用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、金屬加工等行業(yè)。其核心功能包括：

均勻混合：防止拋光液中的磨料顆粒（如SiO?、Al?O?）沉降或團聚。

溫度控制：維持拋光液恒溫，避免因溫度波動影響拋光效果。

防污染：確保拋光液在潔凈環(huán)境中儲存，防止異物引入。

二、設(shè)備結(jié)構(gòu)與工作原理

1. 核心組件

桶體：

材質(zhì)：316L不銹鋼（耐腐蝕）、PP/PTFE（防靜電、耐酸堿）。

攪拌系統(tǒng)：

攪拌器類型：槳葉式、錨式、螺旋式（根據(jù)粘度選擇）。

驅(qū)動電機：變頻調(diào)速（0-500 rpm），功率0.5-15 kW。

溫控系統(tǒng)：

加熱/冷卻夾套：通入導(dǎo)熱油或冷卻水，控溫范圍5℃-80℃。

溫度傳感器：PT100探頭，精度±0.5℃。

輔助系統(tǒng)：

液位監(jiān)測：超聲波或浮球式液位計。

循環(huán)過濾：聯(lián)機過濾器（0.1-1μm精度），防止顆粒團聚。

2. 工作原理

通過電機驅(qū)動攪拌器旋轉(zhuǎn)，形成層流或湍流，使拋光液中的磨料、添加劑均勻分散。溫控系統(tǒng)通過夾套介質(zhì)調(diào)節(jié)液溫，確?；瘜W(xué)穩(wěn)定性。

三、技術(shù)參數(shù)

參數(shù) 典型值/說明

容量 50L - 5000L（可定制）

攪拌轉(zhuǎn)速 0-500 rpm（無級調(diào)速）

功率 0.5 kW（小型）- 15 kW（大型）

溫控范圍 5℃ - 80℃（精度±1℃）

接觸材質(zhì) 316L不銹鋼、PP、PTFE、氟橡膠密封圈

四、應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：

CMP拋光液（化學(xué)機械拋光）的混合與存儲，要求無金屬離子污染。

光學(xué)鏡片加工：

玻璃拋光液的恒溫攪拌，防止顆粒沉降。

金屬表面處理：

電鍍液、酸洗液的循環(huán)混合，提升工藝一致性。

鋰電材料：

正極/負極漿料的分散，確保涂布均勻性。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、設(shè)備工藝先進，做工精巧

2、正常使用壽命長，合格率高，達到進口設(shè)備的技術(shù)水準，性價比更高。

3、我司有一支將近20年經(jīng)驗的技術(shù)及售后服務(wù)團隊，從設(shè)計生產(chǎn)到售后服務(wù)為客戶提供專業(yè)化方案。

五、選型與維護建議

1. 選型要點

拋光液特性：

高粘度（如鋰電漿料）：選擇錨式或螺旋攪拌器。

低粘度（如CMP拋光液）：槳葉式或磁力攪拌。

潔凈度要求：

半導(dǎo)體級：316L不銹鋼+氮氣密封+循環(huán)過濾。

工業(yè)級：PP材質(zhì)+機械密封。

產(chǎn)能匹配：

根據(jù)產(chǎn)線需求選擇容量（如500L/批）。

2. 維護保養(yǎng)

日常維護：

每周清潔桶內(nèi)壁，檢查密封圈磨損。

每月校準溫度傳感器，清理過濾器。

長期維護：

每年更換攪拌器軸承潤滑油，檢測電機絕緣性。

每2年全面檢查夾套管路，防止?jié)B漏。

六、常見問題與解決方案

問題 原因分析 解決方案

顆粒沉降 攪拌速度不足或時間過短 提高轉(zhuǎn)速，延長攪拌時間

溫度波動大 夾套介質(zhì)流量不均 檢查泵閥，調(diào)節(jié)流量

密封泄漏 密封圈老化或安裝不當 更換密封圈，重新校準軸心

電機過熱 負載過大或散熱不良 降低轉(zhuǎn)速，清理散熱風(fēng)扇

七、技術(shù)發(fā)展趨勢

智能化：

集成物聯(lián)網(wǎng)（IoT）實時監(jiān)控粘度、顆粒分布。

AI算法優(yōu)化攪拌參數(shù)，自適應(yīng)不同配方。

綠色化：

低能耗電機設(shè)計，減少碳足跡。

可降解材料替代傳統(tǒng)密封件。

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